洁净室的设计过程中送风量根据不同的等级有不同的算法，普通的可以按照换气次数确定，而百级以上的有一套自己的计算公式，对比来说要求更加严格，为洁净单向流，一般不按换气次数确定。

　　送风量计算公式为：送风口有效面积*出风口风速(风速一般为0.25m/s~0.3 m/s，考虑衰减，一般取0.4 m/s ~0.45 m/s)。

　　如千级洁净室：50～60次/h，万级洁净室：15～25次/h;十万级洁净室：10～15次/h[1](对于高热型电子厂房应还要按消除余热去计算送风量，两者取较大值)。其送风状态点较之舒适性空调难确定。现以某电子厂洁净室夏季一次回风系统为例，

　　设计参数见下表：

　　洁净室设计参数 表1

　　风量负荷计算见下表：热湿比的定义为空气的焓变化和湿量变化之比 ε=Q/W Q为室内计算的热负荷 W为室内计算是湿负荷

　　洁净室风量负荷计算 表2

　　备注：新风量取10%

　　空气处理过程：采用一次回风处理方式，室外新风与回风混合后处理至露点L，经再热后至送风状态点O，由O点沿热湿比线吸收室内余热余湿后，达到室内状态点。处理过程如下图所示：

　　图1：洁净室一次回风空气处理焓湿图

　　由于洁净空调是根据送风量来确定送风温差(送风温差较小)，故一般不能采用露点送风。

　　各状态点确定(以千级洁净室为例)：

　　Δh=Q/G

　　Δh：室内状态点同送风状态点的焓差(in-io);

　　Q：室内余热;

　　G：房间送风量;

　　室内状态点焓值in为：50.26kJ/kg，Q：40 kw，G：23430 m3/h(7.81kg/s)，可得：

　　Δh=40/7.81

　　=5.12kJ/kg

　　即可求出送风状态点的焓值io =45.14 kJ/kg，过io作等焓线与热湿比线(对于高热型电子厂房，室内散湿量极少，主要散湿源为人体散湿，热湿比线近似于垂直，所以对回风的处理不能是除湿过程)的交点即可得送风状态点O。L点：连接室内点N与送风状态点O，并延长与95%等相对湿度线相交，即得L点。M点：根据新回风混合，混合比等于新回风之反比，即NM/MW=新风量/回风量，即得M点。各状点参数见下表：

　　各状态点参数 表3

　　由图可知：

　　室内负荷：Q1=G*(in-io)

　　=7.81*5.12

　　=40kw

　　新风负荷：Q2=Gw*(iw-in)=G*(iw-in)

　　=0.781*41.82

　　=32.7kw

　　再热量： Q3=G*(io-il)

　　=7.81*3.94

　　=30.77kw

　　总负荷： Q= G*(iw-il)=Q1+Q2+Q3

　　=40+32.7+30.77

　　= 103.5kw

　　同理可计算其他几间洁净室的冷量同再热量。

　　洁净室一次回风冷量同再热量 表4

　　对于上述十万级洁净室，若按规范所要求的换气次数去确定其送风量，进而计算确定送风状态点，可发现，由于送风量过小，在焓湿图上找不这一状态点，此时送风量必须按消除室内余热来计算(此情况下可采用露点送风，不须再热)。

　　上述十万级洁净送风量：

　　G=Q/in-il

　　=30/(50.26-41.2)

　　=3.31kg/s(9933m3/h)

　　新风负荷： Gw=0.331*(92.08-50.26)

　　=13.84kw

　　观察分析可知，在一次回风系统中须再热，浪费能源，同时由于冷热抵消，还要多消耗等量的冷量，不符合节能原则。

　　由于现阶段，自动控制技术越来越成熟，大部分工程公司都采用PI控制器或DDC控制器来控制空调的温湿度(控制冷冻水流量)，控制原理如下图所示：

　　图2：DDC自动控制原理图

　　控制原理：

　　安装在回风管内的温度传感器T检测的温度送至DDC与设定的点相比较，用比例积分控制，输出相应的电压控制电动调节阀M的开度，从而精确调节冻冻水流量，使送风温度保持在所需要的范围内。

　　同理，安装在回风管内的湿度传感器H所检测的湿度送往DDC与设定值相比较，用比例积分控制输出相应的电压信号，控制表冷器电动调节阀或加湿器的电动调节阀的开度，控制除湿量或加湿量，使送风相对湿度保持在所要求的范围内。

　　由于DDC根据回风所反馈的温湿度自动控制冷水的流量同加湿用蒸汽量，控制精确，故现对DDC的使用已走进了一个误区：对于一次回风系统不使用再热，完全依赖DDC的自动控制，即室内多少负荷，通过DDC控制电动阀，给冷盘管多少冷冻水量，或相当一部分人认为，用DDC控制冷冻水量，便处理过的空气直接达到送风状态点，省去再热量同等量的冷量。通过分析可知，仅用DDC控制不能使空气状态直接达到送风状态点。结合焓湿图，详细分析如下：

　　方案1：

　　方案2：

　　方案1:从焓湿图可看出：从M点到O点是一个降温除湿过程，但O点不是露点，且线段MO上任一点都不存在露点，故从M点直接处理至O点是不可能实现的。

　　方案2：从焓湿图可看出：从M点到L点是等湿过程(即提供的冷冻水温度高于其露点，即干盘管)，从L点到O点为等焓除湿过程，这一个过程难以实现。

　　方案3：从焓湿图可看出：新风集中处理至露点L(承担部分室负荷)，室内回风处理至L’点(等湿过程)，处理过的新风同回风的混合点刚好在送风状态点O上：L’O/OL=新风量/回风量。

　　此种空气处理方式，新风由新风机组集中处理，再与处理过的回风混合至送风状态点，省去再热量，适用于多个回风机组集中布置。

　　对于此种空气处理方式，回风机组同新风机组对冷冻水水温要求不同，由于冷水机组的冷冻水供回水温度通常为7oC-12oC，故新风机组直接引自冷水机组冷冻水即可，而回风机组所用冷冻水则须经换热器换热。回风处理状态点可由DDC控制系统精确控制。各状态点参数如下表所示：

　　一次回风各状态点参数 表5

　　由图可知：

　　新风负荷：Q1=Gw*(iw-il)

　　=0.781*50.88

　　=39.7kw

　　回风负荷：Q2=(G-Gw)*(in-il’)

　　=7.03*4.68

　　=32.9kw

　　总冷负荷：Q=Q1+Q2

　　=39.7+32.9

　　=72.9kw

　　同理可计算其他洁净室新风负荷同回风负荷：

　　洁净室新风负荷、回风负荷 表6

　　备注：上述十万级洁净室采用图1所示空气处理方式(露点送风)。

　　两种空气处理方式能量消耗对比如下表所示：

　　两种空气处理方式能量消耗 表7

　　通过观察可知：总冷负荷与再热式一次回风系统的室内负荷+新风负荷的总和相等，即用些种空气处理方式省掉了再热量,同时还有相应等量的冷量,节能效益相当可观.

　　DDC控制原理图：

　　图6：方案3DDC自动控制原理图

　　当室内余热增大时，温度传感器所反馈的温度值大于DDC系统的设定值，DDC通过所反馈的信号去控制电动调节阀的开度，增大冷冻水流量从而提高送风温差，才能消除室内余热，即送风状态点O下移。相应的回风处理状态点L’也下移。L’O/OL=新风量/回风量。

　　同理，当室内余热减少时，调节过程与室内余热量增大时相反。

　　从焓湿图上可看出此种空气处理方式有一个特点：热湿比大，回风处理为等湿处理。此种空气处理方式对于低热高湿型洁净室是否也可行呢?我们可从焓湿图上加以分析：

　　图7：方案3在低热高湿型洁净室空气处理焓湿图

　　从焓湿图可看出：新风集中处理至露点L(承担部分室负荷)，室内回风处理至L’点，为降温除湿过程，L’点为非露点，故这一过程不可能实现。

　　综上分析，此种一次回风空气处理方式仅适用于高热少湿型洁净室。对于低热高湿型洁净室不能仅依靠DDC控制，必须采用再热，才得到相适的送风状态点，为节约能源，建议采用采用二次回风方式(空气调节教材上已有详细叙述，故在此不再赘述)。

　　结论：通过以上分析对比可以看出，针对高热少湿型洁净室，采用合适的空气处理方式，可以达到节能目的，洁净级别越高，节能效果越明显。但对于低级别洁净室节能效果不大，在实际建设中，从节能和投资的角度综合考虑，采用常规一次回风(图示所示空气处理方式)更为合算。